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光学镀膜:均匀性修正原理
文章介绍光学镀膜均匀性修正原理:通过测波长确定膜厚分布,以最大波长为基准计算修磨量,并用理论factor将波长偏差换算为mask修磨尺寸,如0.3nm需修0.359mm;同时讨论修正版与公转自转方案。
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