光学镀膜：波形匹配与均匀性动态变化
文章通过TFC模拟与表格计算，分析光学镀膜中预修量及H/L层均匀性动态变化对波形的影响，发现L变化易致带宽收紧塌边，H更敏感，两者预修差过大将恶化波形，并留下内外圈塌边规律待研究。
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光学镀膜：均匀性修正原理
文章介绍光学镀膜均匀性修正原理：通过测波长确定膜厚分布，以最大波长为基准计算修磨量，并用理论factor将波长偏差换算为mask修磨尺寸，如0.3nm需修0.359mm；同时讨论修正版与公转自转方案。
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这个网站于 2026-10-31 00:48 收录，最近一篇文章发布于 2026-11-11 20:19
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